而像三桑,特极点,和因特尔这样的企业,恐怕现在还活在被日本人支配的恐惧感里呢。
当年也是因为特极点的工程师林本坚,想到了用水作为介质,来增加激光折射的方法来改进当时的光刻技术的。
在上世纪的八十年代末期,芯片的制程技术卡在193纳米这个阶段,已经有些时日了。
作为当时最牛掰的两家光刻机制造企业,佳能和尼康,始终坚持他们的干刻技术。
对于其他人提的任何意见都不敢兴趣。
当时特极点的工程师林本坚,就想用水作为介质来提升激光的折射率。
可惜他的观点,并不被死脑筋的日本人采纳,甚至他们还非常看不起这个计划。
而当时刚好处于半死不活状态的阿斯麦,则抱着死马当作活马医的态度,决定采用这个技术来试一试。
结果他们也是用了十年的时间,才终于在这门技术上取得了重大突破。
也就是说林本坚当年是1987年提出的用水作为介质的思路,为了自己的方法能够得到验证。
期间他多次前往日本,去找佳能和尼康的人碰面,结果大多数时间都是吃了闭门羹。
后来他找上了阿斯麦,两边一拍即合就开始了合作。
不过整个过程还是非常艰难的,毕竟想要在这个领域取得突破,又哪里是那么容易的事情?
而其实真正让阿斯麦最后取得成功的,其实是来自
1819 死灰复燃(2/7)