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第585章 没有秘密的秘密
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,“把光刻机的研究进度给他们看看!”
    半导体产业四大核心设备——光刻机、离子注入机、刻蚀机、薄膜沉积机,这其中光刻机是最经常被人提及的,原因很简单,因为光刻机是最难的。
    杨东升也是正式涉足光刻机领域后,才知道这一块有多难。
    如果是追着外国人的屁股研究的话,他们永远别想赶上别人,而且永远也别想盈利,他们无论做出何种等级的设备,西方国家马上就会解除对同等设备的禁运,一点市场也别想拿到。
    得益于杨东升的先知先觉,东升半导体决定直接上马极紫外线光刻相关技术。
    杨东升敢这么做,是因为光刻机不用先做出第一代设备,才能做第二代设备。
    光刻机三大核心部件——光源、镜头、工作台。
    其中的关键光源技术,深紫外线使用的是准分子激光,跟下一代极紫外线光源相互的关联很少!
    而且准分子激光技术应用很广泛,此项技术不止美国一家掌握,想绕过美国相对简单,相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。
    后世阿斯麦的极紫外线光刻机,使用的光源是采用激光持续轰击锡滴。
    由于极紫外线只占锡滴发出的光很少一部分,大约只有百分之几,因此要使用足够强的激光轰击锡滴,才能发出足够强的光——至少得是3万瓦以上,而且还得持续不停的输出。
    大功率的激光,持续不断的准确命中锡

第585章 没有秘密的秘密(3/5)
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