上寻求突破。
阿斯麦和svg加入的euvllc联盟，对极紫外光源有了一定的研究成果，但这种波长只有13.5纳米的光源真正用到光刻机上还有一个漫长的过程。
业内人士坚持认为，在光刻技术“摩尔定律”上，157纳米的光源、“干式”光刻技术，就是唯一的赛道。
而林古峰不这么认为，特别是在安美森和阿斯麦联合收购了svg后，林谷峰亲自跟进了光源项目研究小组的进度，更加感到157纳米波长的光，不适用于光刻领域。
林谷峰跟陈立东解释说：“因为空气中的氧气会吸收157纳米的光，所以光经过的整个路径必须只有惰性气体，现在只能用氮气。
氮气的成本很高，而且如果意外漏出太多氮气会致命的。
我算了一下，157纳米只比193纳米短23％，换句话说，只能把解析度提高23％。
用193纳米加水可以提高46％，几乎是两倍，因为波长只在水中变短为132纳米。
光在进入水前的波长是193纳米，可以避开所有157纳米的困难，能改进46％，又容易被半导体业接受，真是天造之合，这是上帝给半导体业的奇妙安排。”
说道最后，林谷峰瘦削的脸庞上漾起一片绯红，仿佛真的感受到了上帝的关爱一般。
陈立东算了算，好像46%的数值算的不太对，如果由他来算，波长变短
第四百零一章 家有四老(2/8)